高精度双头四轴联动工作台运动控制技术

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高精度双头四轴联动工作台运动控制技术

需求所属领域：装备制造

需求所处阶段：试生产阶段

需求缘由：新产品开发、产品升级换代

意向合作方式：技术转让、技术开发

意向合作院校：

拟投入资金额：面议

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发布人：江苏省生产力促进中心产业规划与军民协同创新服务处离线

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公司专业从事半导体材料划切设备研发、生产、销售的高新技术企业,专注于半导体材料精密切磨领域，研制并成功销售涵盖6、8、12英寸系列自动精密划切设备。随着12英寸晶圆的切割需求普及，超高精度大尺寸双轴芯片切割机的市场需求迫在眉睫，±1微米的高精度机台的实现越来越急迫，高精度机台不仅仅是涉及机械结构设计，更是电气控制平台和软件算法补偿等机电软三学科综合的关键技术，公司拟合作开发的四轴联动工作台的关键技术参数和可靠性指标如下： 1、技术参数（1）最大工作物尺寸：

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需求详情

技术介绍

需求简要说明及主要技术参数
公司专业从事半导体材料划切设备研发、生产、销售的高新技术企业,专注于半导体材料精密切磨领域，研制并成功销售涵盖6、8、12英寸系列自动精密划切设备。随着12英寸晶圆的切割需求普及，超高精度大尺寸双轴芯片切割机的市场需求迫在眉睫，±1微米的高精度机台的实现越来越急迫，高精度机台不仅仅是涉及机械结构设计，更是电气控制平台和软件算法补偿等机电软三学科综合的关键技术，公司拟合作开发的四轴联动工作台的关键技术参数和可靠性指标如下： 1、技术参数（1）最大工作物尺寸：

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