风刀的作用是去除玻璃基板表面的液体。根据实际使用时发现风刀吹气时会出现液滴飞溅到风刀表面,进而滴落至风刀刀口,出现风幕分叉的现象,致使玻璃基板表面出现液体残留,对产品造成不良影响(如图1)。本设计通过新增风刀负压腔室(如图2),将飞溅至风刀表面的液滴吸进负压腔室,避免风刀因液滴滴落导致分叉,从而导致的产品异常。
二、创新要点:
1. 通过新增负压腔室,可将飞溅到风刀表面的液滴吸走,避免液滴滴落时造成风刀分叉,从而导致产品异常;
2. 负压腔室内部使用半圆弧风道设计,可在较小的负压下得到更大的吸力(如图2.1);
3. 新增的负压腔室,可将风刀所在的单元湿气同步吸出,保持单元内部环境干燥(若湿度较高,单元内部也会存在药液回滴现象,目前每天需花费2个人力去擦拭单元内部水滴,保持单元干燥。
三、关键指标:
在腔室Gap在0.2mm ,负压为150Pa的标准下,能将液滴完全吸走;
四、效益分析:
效益:A(清洁风刀单元的人力成本)= 2人* 50 RMB/H * 0.5H/台*5台*365天= 91,250 RMB/年
B(产品良率改善)= 80K(月产能)*12个月*0.003%(不良率)*200 USD(大板单价)*7.23(汇率)= 41,645 RMB/年
总效益=A+B=91,250RMB + 41,645RMB= 132,895 RMB/年