需求简要说明及主要技术参数 |
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1、问题描述:
突破机台设计缺陷,减少线材干涉摩擦产生Particle对良率的影响。相关指标符合洁净度需求。实现AOI机台自清洁功能,有效替代人力清洁,降低设备AE loss。
2、主要技术参数
开发适用于AOI设备除尘,预期指标:
1.月保时机台自检保持Z轴升降 10 次增量≤3颗 PA,突破机台自身设计缺陷;
2.平均月清洁次数降低3次(原每月清洁4次);
3.无尘室内环境符合Class 10标准,过滤效率≥99.5%;
4.除尘系统吸气流量300-500 L/min;
5.量化指标改善75%。
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