需求简要说明及主要技术参数 |
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1、问题描述:
突破特殊Mura在Macro机台不易被观察到的技术难点。完成一种水雾宏观检查装置的研发,可有效改善良率loss,减少工程师工作Loading;实现面向不同应用的Mura检测产业化,有效替代人工操作。
2、主要技术参数
开发适用于特殊Mura检测,预期指标:
1.提升特殊Mura的检出率85%→95%,使检出不会因为人为因素而存在差异;
2.节约单片检查工时,3 min/片,提升检查效率;
3.水雾喷嘴覆盖面积1.3 m x 1.1 m;
4.水雾流量1-1000 mL/min,可由recipe控制;
5.喷嘴水雾可预加热,温度区间20-80℃,可由recipe控制。
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