一产品和技术简介:
薄膜晶体管(TFT)是液晶、OLED等显示器件的关键控制器件,一般由玻璃衬底、栅极绝缘层、半导电沟道层、三种电极(栅极、源极、漏极),及可选的钝化层组成。其中,其栅极、源/漏电极传统多采用Al、Cu单层金属,经双氧水或磷酸-醋酸-硝酸(PAN)三酸体系湿法刻蚀而制成,随着技术的发展,电极目前往双层、多层合金结构发展,如Al/Mo,Mo/Al-Nd/Mo,Cu/Mo,Mo/Cu/Mo-Ti,Mo/Cu/Mo-Ta等,由于不同金属或合金之间的电极电位不同,传统的加工单层金属电极的刻蚀液组成和参数条件,已不适应,需要开发新的刻蚀液配方与刻蚀条件,但目前产线上应用的刻蚀液多是从日本、韩国进口,存在被“卡脖子”风险。目前需要合作伙伴,把该实验室技术放大到工业规模,实现在国内的生产和规模化应用。
二、应用范围:
a-Si基TFT、氧化物基TFT(如IGZO、ITZO等)用Al、Cu基叠层电极电极的加工。也可推广应用于其它微纳电子器件,如功率电子器件电极的加工。
三、生产条件:
室温、大气环境。
三、成本沽算:
在传统的双氧水、磷酸-醋酸-硝酸(PAN)三酸体系配方基础上,增加了特种添加剂,提高了刻蚀液的刻蚀性能和稳定性,增加成本约10%。
四、规模与投资:
需要与合作方协商决定。
六、提供技术的程度和合作方式:我们提供刻蚀液配方技术和相关制备技术,合作方提出进行生产放大并实施批量生产。
七、市场与效益:
TFT电极的刻蚀液及刻蚀技术目前主要被日、韩垄断,本项目提供的技术属于国内独有的前沿专利技术,可望突破国外垄断,具有重大应用价值,尤其在有可能被“卡脖子”的今天。