金刚石薄膜分为单晶、多晶和非晶态材料,单晶和多晶金刚石材料常常是在高温下形成,而 DLC 是在常温下形成的一种亚稳态的非晶态材料,可分为含氢类金刚石膜(hydrogenated amorphous carbon,简称 a-C:H)和不含氢类(amorphous carbon,简称 a-C)。一般 a-C 的 sp3 键含量高于 a-C:H,所以也具有更高的硬度。当 a-C 中 sp3 键含量达 70%以上,被称为非晶四面体碳( tetrahedral amorphous carbon,简称 ta-C)。
本项目即为 ta-c 薄膜制备技术。
本项目目前达到的水平为:SP3 结构达到 87%,薄膜硬度 HV≥85Gpa,平整度0.2nm,摩擦系数≤0.08,紫外吸收 97%以上。
产品优势:
一是该膜层可沉积在金属、陶瓷和介电材料等基体上,膜厚可从几纳米到几微米, 均匀度误差达±1%,是目前其它方法无法达到的。
二是采用该方法镀制的膜层,其硬度和耐磨性能高于其它方法。
三是制备的薄膜均匀,重复性好、工艺稳定。
四是制备的非晶碳薄膜 SP3 结构超过 85%以上,摩擦系数小于 0.1 以下, 并可达到沉积工作条件为常温(80?C)以下。
五是可以根据不同基体设计不同涂层组合的复合涂层结构,并具有良好的附着力、耐磨损、摩擦系数小的良好特性。
六是镀膜的均匀性在 1%。
该项目目前已实现 ta-c 的部分工业产品的产业化生产。
该项目目前已达到中试,合作方式可面议。