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需求所属领域：新材料

需求所处阶段：研制阶段

需求缘由：新产品开发

意向合作方式：技术开发

意向合作院校：

拟投入资金额：面议

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发布人：常州苏晶电子材料有限公司离线

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提高溅射靶材的利用率；在保证高密度、高致密性、微观结构均匀条件下，大面积提高溅射靶材制作技术；提高溅射靶材致密度；降低靶材内晶粒的尺寸；提高溅射速率及溅射过程的稳定性。研制具有自主知识产权的6代、7代、8代及超宽型靶材，提升企业技术创新能力和竞争力，提高企业技术创新水平，持续不断地创造新成果，开发新技术，并进行工程化研究，为产业化提供成熟、配套的技术、工艺、装备和新产品。

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技术介绍

需求简要说明及主要技术参数
提高溅射靶材的利用率；在保证高密度、高致密性、微观结构均匀条件下，大面积提高溅射靶材制作技术；提高溅射靶材致密度；降低靶材内晶粒的尺寸；提高溅射速率及溅射过程的稳定性。研制具有自主知识产权的6代、7代、8代及超宽型靶材，提升企业技术创新能力和竞争力，提高企业技术创新水平，持续不断地创造新成果，开发新技术，并进行工程化研究，为产业化提供成熟、配套的技术、工艺、装备和新产品。

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