高端薄膜材料生长系统

成果编号：24894

价格：面议

完成单位：南京大学

单位类别：985系统院所、211系统院所

完成时间：2017年

成熟程度：小批量生产阶段

服务产业领域：电子信息、新材料

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发布人：南京大学技术转移中心在线

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本项目的产品就是真空领域高端的薄膜生长系统，分子束外延生长系统（MBE）。集成电路产业需要大量高端薄膜生长设备：平板显示领域：OLED面板，单价近亿/台，Cannon Tokki 集成电路行业：金属薄膜，单价5000万- 1亿/台，美国应用材料太阳能行业有机照明行业实验室的分子束外延MBE设备，依赖进口。每年分子束外延设备的进口台数在几十台，总成交价格在10亿以上。目前市场上的主要生产厂家，有美国的VEECO、SVTA，法国的Rebel，瑞典的DCA,德国的MBE component,VG，SPECS。这些厂家中，以VEECO，Rebel，为龙头，占据了大约70[%]以上的市场份额。上个世纪80年代，MBE作为一种尖端技术，国外就对中国进行了技术封锁，禁运中国。甚至在今天，MBE仍然属于美国对中国出口的管制类产品，每一台都要经过复杂的审批过程。最近中美的贸易摩擦，导致了再次禁运。由此，我们必须发展中国自主的分子束外延设备。

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成果介绍

科技计划：国家级：

成果形式：新技术、新材料

合作方式：技术转让、技术开发、技术咨询、技术服务

参与活动： 2020年高校院所走进镇江高新区暨船舶海工产业产学研合作对接活动 2020年高校院所服务苏北五市产学研合作对接活动 2021年高校院所服务苏北五市产学研合作对接活动首届江苏产学研合作对接大会

专利情况：未申请专利

成果简介

综合介绍

创新要点

专门针对实验室对小样品的生长需求，设计小型紧凑的生长腔室、样品台，同时降低购买价格与运行成本。紧凑的生长腔室（内径 ~ 300 mm）：内表面积小，更容易实现超高真空，整体占地面积不到1㎡。电子束加热的小样品台：定向加热，降低了传统灯丝热辐射加热的耗散，保证了较低的环境温度，对真空有利。同时加热速率很快。 30多个标准法兰接口：可扩展性好。小样品托（18 *12 mm）：刚好适合10 mm左右样品，同时兼容ARPES，STM等标准样品托。

技术指标

产品优势同国外进口产品相比较，我们拥有以下的优势：价格优势：本产品在国内设计，加工，组装，国产率在80[%]以上，加上中国相对便宜的人力成本，直接成本只有进口同类产品的50[%]。市场机会：国家最近在科研领域每年的投入，数以千亿，并且以10[%]的速度高速增长。科研经费的充足，使得更多的学校和研究所愿意投入经费购买分子束外延系统。市场空间很大。技术优势：目前，国内的真空设备厂家的技术加工水平已经达标，所欠缺的就是一个整体系统设计。而我们项目核心团队的徐永兵教授和何亮教授在分子束外延领域都有超过十五年的工作经验，熟悉分子束外延的各种技术要求，这是推进项目成功的基础保证。产品成熟度：本团队已经搭建了一台分子束外延系统。目前已经成功运行了一年的时间。通过对比国外的同类产品，无显著性差异。但是成本可以比国外低1/3，经济上来说，是值得推广的。

其他说明

原位的材料生长系统：两套分子束外延MBE，一套脉冲激光沉积PLD，一套磁控溅射Sputter，用于生长各种新型材料。原位的电子能谱测试系统：超高光子能量：10~80 eV，超高时间分辨率： 50 飞秒（1 fs =10-15s）具有自旋分辨能力研究各种新型自旋电子材料及器件中的重大科学问题

完成人信息

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所在部门：对接成功后可查看

职务：对接成功后可查看

职称：对接成功后可查看

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