高性能超快激光精密微加工装备

成果编号：24872

价格：面议

完成单位：南京大学

单位类别：985系统院所、211系统院所

完成时间：2018年

成熟程度：批量生产阶段

服务产业领域：电子信息

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发布人：南京大学技术转移中心在线

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近几年，随着消费电子（手机、智能手表等）、生物医疗需求的快速发展，尤其是代表下一代柔性移动显示屏OLED的巨大应用市场驱动下，超快激光精密微加工产业在世界范围内迅速增长。与传统的纳秒长脉冲相比，脉宽小于15皮秒的超快激光器用于材料加工时，由于脉冲的持续时间短于材料的热弛豫时间，在加工过程中避免热效应，基本不带来附加损伤和毛刺，适合于微米乃至纳米精度的超精细冷加工。超快激光的瞬间功率极大，几乎可以和任何材料相互作用，因此适用于超快激光加工的材料范围几乎不受限制，尤其有优势的加工对象包括玻璃、蓝宝石、陶瓷、太阳能薄膜、半导体晶圆、特种合金、精密医疗器件等。南京大学王枫秋教授课题组在超快激光器领域取得了一系列国际级的研究成果，多次被国际最具影响力的激光行业杂志《LaserFocusWorld》亮点报道。在国内较早建立了超快激光器产业化平台（依托南京诺派激光技术有限公司），初步建成了机械、电子、以及光学工程并重的产品开发团队，积累了比较丰富的光电子集成系统技术转化经验，并且承担多项国家级研发项目。

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成果介绍

科技计划：国家级：

成果形式：新技术、新工艺、新装备

合作方式：技术转让、技术开发、技术咨询、技术服务

参与活动： 2020年高校院所走进镇江高新区暨船舶海工产业产学研合作对接活动 2020年高校院所服务苏北五市产学研合作对接活动 2021年高校院所走进镇江产学研合作对接活动首届江苏产学研合作对接大会

专利情况：未申请专利

成果简介

综合介绍

创新要点

目前团队正积极布局研发工业级超短脉冲激光器，并已经突破了一系列关键技术，自主研发的全波段超短脉冲生成技术已处于国际领先水平，可提供覆盖“可见光-近红外-中红外”的超快激光器，多款产品已获得ISO9000质量体系认证以及欧盟CE安全资质认证。团队主要创新成果为掌握从锁模光开光、超快种子源、光纤放大、谐波产生（倍频）到最后组装工艺一整套完整的超快激光技术方案。尤其是团队独创的宽带锁模光开关技术，有效地克服了目前制约超快光纤激光器工业应用的“波段窄”，“结构不紧凑”瓶颈，实现全波段的超快光纤激光产品系列。锁模光开关是超快激光器产生皮秒或者飞秒脉冲的核心功能器件，直接影响众多光纤和固体锁模激光器的输出指标和运行可靠性。目前，商业上的光开关器件大多采用基于半导体的SESAM技术，主要掌握在全球少数几个公司（如德国Batop公司等）。

技术指标

王枫秋教授团队研究发现三维狄拉克半金属薄膜材料在红外1-6微米范围具有宽谱光吸收特性，还具有开关时间大范围可调这个重要优势，是制备高性能中红外脉冲激光器的理想开关材料。该成果已经在新型锁模激光器上得到技术验证，其高度可调控特性非常适用于智能化工业精密加工设备的研发生产。相关成果入选“2017中国光学十大进展”。

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