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一种真空蒸镀装置及利用其制备有机电致发光器件的方法

成果编号:22557
价格:面议
完成单位:苏州大学
单位类别:
完成时间:2016年
成熟程度:
服务产业领域: 新材料
发布人:向丹婷 离线
本发明提供一种真空蒸镀装置及利用其制备有机电致发光器件的方法,所述真空蒸镀装置由真空蒸镀罩、钽蒸镀支架和真空泵组成;所述钽蒸镀支架由底座和两块基底支撑板组茂,基底支撑板垂直设置在底座上方,两块基底支撑板的上方分别对应设置有基底卡槽,底座左右两侧分别接通电源的正负极、形成电流回路;所述底座与真空蒸镀罩平行放置,中用木棍隔开,真空泵通过真空管与真空蒸镀罩的内部空间接通。本发明提供的真空蒸镀装置使得在制备有机电致发光器件时,在较低的压强条件下即可完成,毋须采用昂贵的真空蒸镀设备,所需设备较传统工艺所需工艺成本大大降低。
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成果介绍

科技计划:
成果形式:新技术
合作方式:技术转让
参与活动: 第七届中国江苏产学研合作大会 2021年高校院所服务苏北五市产学研合作对接活动 首届江苏产学研合作对接大会
专利情况: 正在申请 ,其中:发明专利 0
已授权专利,其中:发明专利 0
成果简介
综合介绍
本发明提供一种真空蒸镀装置及利用其制备有机电致发光器件的方法,所述真空蒸镀装置由真空蒸镀罩、钽蒸镀支架和真空泵组成;所述钽蒸镀支架由底座和两块基底支撑板组茂,基底支撑板垂直设置在底座上方,两块基底支撑板的上方分别对应设置有基底卡槽,底座左右两侧分别接通电源的正负极、形成电流回路;所述底座与真空蒸镀罩平行放置,中用木棍隔开,真空泵通过真空管与真空蒸镀罩的内部空间接通。本发明提供的真空蒸镀装置使得在制备有机电致发光器件时,在较低的压强条件下即可完成,毋须采用昂贵的真空蒸镀设备,所需设备较传统工艺所需工艺成本大大降低。
创新要点
本发明提供的真空蒸镀装置使得在制备有机电致发光器件时,在较低的压强条件下即可完成,毋须采用昂贵的真空蒸镀设备,所需设备较传统工艺所需工艺成本大大降低。
技术指标
其他说明
本成果来自江苏省碳基功能材料与器件高技术研究重点实验室
完成人信息
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联系人信息
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