需求简要说明及主要技术参数 |
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陶瓷基板的研究及开发主要聚焦在Al2O3陶瓷基板和AlN陶瓷基板的产业化关键技术。Al2O3基板的导热系数达到20W/m·K,是铝基板(1-1.2W/m·K)的近20倍,AlN基板的导热系数更是达到200W/m·K,甚至更高。除了具有高导热特性之外,陶瓷基板还有耐高压、耐高温、防腐蚀,介质损耗低等优点,是大功率LED及第三代半导体器件的最佳封装板材。
目前国内在Al2O3陶瓷基板方面已经实现了产业化,但是在制造大尺寸防翘曲技术上仍然没有突破。在AlN基板方面,目前国内亟待突破的技术包括用于烧结AlN基板的AlN粉体制备技术和AlN基板制备技术。
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