简述主要科研能力、成绩与成果:主要学术荣誉: 国家杰出青年科学基金获得者(2003);教育部长江学者奖励计划特聘教授(2004);“百千万人才工程”国家级人选(2006);IEEE Fellow(2015)。 国际学术兼职: IEEE Sensors Conference年会TPC委员(2002-2018);7th IEEE International Conference on NEMS技术委员会共同主席(2012.03,日本,京都);The Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro/Nano Technologies领导委员会主席(2012-2014);TRANSDUCERS TPC委员(2009-2019);英国《Journal of Micromechanics and Microengineering》编委(2012-)。 国内学术兼职: 中科院传感技术联合国家重点实验室(微系统所、电子所)学术委员会委员;中科院纳米器件重点实验室(苏州纳米所)学术委员会委员;微米纳米加工技术国家级重点实验室(北京大学、上海交通大学)学术委员会委员;清华大学智能微系统教育部重点实验室学术委员会委员;可靠性物理与器件国家级重点实验室(工信部5所)学术委员会委员。中国微米纳米技术学会常务理事;《传感技术学报》主编。 政府服务: 曾任国家“十二五”863计划微纳制造技术主题专家组专家(召集人)、国家“十五”863计划MEMS重大专项总体组专家、国家自然科学基金委员会第13届信息科学学部专家评审组成员、国务院学位委员会第7届学科评议组成员;现任第7届教育部科技委先进制造学部委员、国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项指南编制专家。 研究成果: 以第一作者或通讯作者发表论文被SCI收录100余篇(其中IEEE期刊40余篇)、SCI他引1000余次;在国际会议发表论文被ISTP收录100余篇(其中7次特邀报告);主编英文丛书1部(Springer)、中文专著2本、译著8本;获中国发明专利授权100余项;以第一获奖人获教育部自然科学一等奖2项、技术发明一等奖1项,江苏省科学技术一等奖1项。