刘梦伟 - 技联在线

成果、专家、团队、院校、需求、企业在线对接

黄磊与江苏省生产力促进中心创新平台管理与服务处对接成功
方成刚与江苏省生产力促进中心高层次人才与外国专家服务处对接成功
赵金星与江苏省生产力促进中心企业咨询与知识产权服务中心对接成功

王庆富与江苏省生产力促进中心高层次人才与外国专家服务处对接成功
高文通与江苏省生产力促进中心高层次人才与外国专家服务处对接成功
高文通与江苏省生产力促进中心企业咨询与知识产权服务中心对接成功

专家介绍

出生年月：未填写

性别：女

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

工作部门：声学微机电系统实验室

工作单位：中国科学院声学研究所

职称：副研究员

职务：无

专家类别：技术专家

所在地区：

邮政编码：

详细地址：

单位性质：

主要服务产业领域：电子信息

研究方向：声学MEMS、压电薄膜谐振器及其信号处理器

依托研究平台：中国科学院声学研究所声学微机电系统实验室

推荐专家情况：

简述主要科研能力、成绩与成果：自2002年始，主要从事微电子机械系统（MEMS）方面的研究工作，针对压电微力传感器、压电/电容微传声器、Lamb波生化传感器、压电薄膜体声波谐振器开展了系统的的研制工作。微器件结构设计方面，提出并设计了基于双压电单元的悬臂梁式微力传感器新结构；首次建立了统一的多层-多片结构的压电微悬臂梁结构分析模型；提出并设计了压电薄膜面内极化的圆形膜片微传声器新结构；提出并证明张力控制的压电多层膜的理论分析模型较劲度控制的压电多层板模型更适合于MEMS膜片结构的设计。薄膜材料及硅微加工工艺方面，采用溶胶-凝胶及溅射工艺研制了高性能PZT、ZnO压电薄膜，提出通过改变溶胶-凝胶过程单次退火甩胶层数控制压电PZT薄膜择优取向生长的新方法，提出采用应力匹配的SixNy/LTO复合结构降低压电多层膜片结构残余应力的方法，制备出的双层PZT薄膜的悬臂梁式微器件和压电多层膜片结构的MEMS弯曲板波器件属国内首创，研制的高次谐波体声波谐振器性能达到国内领先水平。材料及器件测试方面，建立了基于原子力显微镜的压电薄膜压电常数测试平台，建立了完整的压电MEMS器件从准静态（微力传感器）、音频（微传声器）、超声（硅微Lamb波器件）、射频（体声波谐振器）不同频段的测试系统。自2007年开始进行压电薄膜体声波谐振器的研制工作，目前研制的HBAR器件在1-4GHz的Q值大于15000，达到国际水平；与中电集团某所合作设计、制作的FBAR器件Q值达到1200，keff2为4%，是目前国内报道的最好水平，目前基于此器件的FBAR滤波器已向用户提供样品。

简述主要咨询专长与案例：压电MEMS器件，基于压电薄膜体声波谐振器（FBAR、HBAR）的传感器、信号处理器的设计、工艺、测试等。

发布的成果列表

序号	成果名称	服务产业领域	完成时间	关注度
1	高Q值、高频压电薄膜体声波谐振器(HBAR和FBAR)	电子信息	2014-11-28	642

联系方式

办公电话：对接成功后可查看

手机号码：对接成功后可查看

电子邮箱：对接成功后可查看

传真号码：对接成功后可查看

成果、专家、团队、院校、需求、企业在线对接

刘梦伟[专家]

最近对接

专家介绍

发布的成果列表

联系方式

咨询与解答

热门推荐

国家部委

科技部门

合作网站

友情链接