出生年月:
未填写
性别:男
毕业院校:东南大学
学位:博士
工作部门:东南大学MEMS教育部重点实验室
工作单位:
东南大学
职称:研究员
职务:实验室副主任
专家类别:技术专家
所在地区:
邮政编码:
详细地址:
单位性质:
主要服务产业领域: 电子信息
研究方向:微纳机电系统,传感器
依托研究平台:东南大学MEMS教育部重点实验室
推荐专家情况:
简述主要科研能力、成绩与成果:主要从事微纳机电系统制造和设计技术,以及微纳机电系统材料参数在线测试等方面的教学和研究工作。主持和参加过国家重大科技专项项目子课题、国家863计划项目等多个科研项目研究,在IEEE Trans.等国内外重要期刊发表SCI/EI收录论文40余篇,“微机电系统模型、模拟及应用”获2009年“江苏省科技进步二等奖”(排名第2),“硅基MEMS可制造性设计关键技术及其应用”获2013年教育部技术发明二等奖。申请国家发明专利12项,4项已获得授权,注册MEMS材料参数在线测试软件和工艺模拟软件2套,出版MEMS专著2部(篇)。MEMS材料参数在线测试软件和工艺模拟软件两项研究成果实现全球推广、销售。入选江苏省“六大人才高峰”培养计划和“教育部新世纪优秀人才支持计划”。
简述主要咨询专长与案例:在江苏英特神斯科技有限公司的MEMS设计软件尤其是工艺模拟软件模块的研发过程中提供技术支持和指导,并对该软件模块的定位和实用目标提出了建设性的意见。为无锡华润上华半导体有限公司的MEMS工艺线成功开发和相关MEMS传感器批量制造提供技术咨询和指导。