日益提高的产品质量要求以及伴随数字化而来的新型可持续生产理念为真空镀膜提供了绝佳的机会。真空镀膜工艺可将元件表面做成薄膜传感器,并将其集成到生产系统中,对生产过程数字化有着非常重要的意义。同时,传感器制造本身也是数字化主题之一。
该项目薄膜传感器直接集成到机械零件和产品的高应力表面,提供其状态数据,实现生产过程自动化和网络物理连接系统。该项目薄膜传感器由传感膜、导电和绝缘结构层组成。整个膜层厚度在 10 µm 以内。由于厚度不大,薄膜传感器通常不会影响机器零件的性能,且膜层材料坚固耐用,传感器可直接暴露在恶劣工业环境中使用。同时该项目薄膜传感器信号可以分别评估操作或使用的安全性。