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一种超硬非晶碳薄膜的制备装置和工艺

成果编号:26904
价格:面议
完成单位:西安交通大学
单位类别:985系统院所
完成时间:2020年
成熟程度:批量生产阶段
服务产业领域: 装备制造
发布人:李庆明 离线
该项目可用于高精度专有刀具、模具和摩擦滑动部件,提高使用寿命,减小 摩擦,如手术和美容刀具、丝锥、PCB 钻、拉丝模、冲压模具、压缩机滑块,滑动环等;用于视窗、镜片和传感器表面,可防止划伤,增强散热,利于红外光传递,等;用于激光透镜,可提高损伤阈值;用于射线辐射测量传感器,可抗射线辐射损伤,提高测量的灵敏度。
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成果介绍

科技计划:
成果形式:新工艺
合作方式:技术转让、技术开发、技术咨询、技术服务
参与活动:
专利情况: 未申请专利
成果简介
综合介绍
该项目可用于高精度专有刀具、模具和摩擦滑动部件,提高使用寿命,减小 摩擦,如手术和美容刀具、丝锥、PCB 钻、拉丝模、冲压模具、压缩机滑块,滑动环等;用于视窗、镜片和传感器表面,可防止划伤,增强散热,利于红外光传递,等;用于激光透镜,可提高损伤阈值;用于射线辐射测量传感器,可抗射线辐射损伤,提高测量的灵敏度。
创新要点
本项目包括薄膜制备的专有装置和制备工艺,制备技术和薄膜特性达到国际上同类水平,目前已成功地应用于手术和美容刀锯(不锈钢)、丝锥和铣刀、冲压和拉丝模具涂层等,由于该薄膜硬度高,在 200nm 厚度时(处理时间 10 分钟),刀具的使用寿命提高 4 倍左右,相当于其他刀具薄膜厚度为 3 微米(处理时间4-5 小时)时的效果,不仅可以大大提高工作效率,节省大量的人力、水电和材料,而且由于摩擦系数小,切削时不粘接,润滑好,特别适合于有色金属切削。该项目属于无污染加工,成本低效果优异,经济效果显著,每炉的成本几十元,产生的效益在几万元。
技术指标
项目为一种超硬的非晶四面体碳(ta-c)薄膜的制备装置和工艺,该薄膜具有极好的物理化学特性,在碳基薄膜中,是目前国际上公认的 SP3 键含量最高,超过 85%,特性最接近天然金刚石的薄膜,硬度达到 HV≥85Gpa,可见光和红外光透明,透光率达 97%,吸收紫外光,达 98%,薄膜均匀性好,薄膜平整度达 0.2nm,摩擦系数≤0.08,电阻率达(1012Ω·cm),击穿电压 3.5×106,(1cmV),热导率 18()(1KcmW), 密度 .5(g/cm3),薄膜致密耐腐蚀作用极好。
其他说明
完成人信息
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