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基于双层透镜结构的风速传感器
成果编号:26599
价格:面议
完成单位:东南大学
单位类别:985系统院所、211系统院所
完成时间:2020年
成熟程度:研制阶段
服务产业领域: 能源环保
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发布人:江苏省生产力促进中心科技资源开发与技术转移处
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本发明公开了基于双层透镜结构的风速传感器,涉及MEMS器件,属于测量测试的技术领域。该风速传感器为柔性透镜和硅基上的固定透镜组成的双层透镜结构,柔性透镜与硅基上固定透镜之间留有足够空气腔,当有风流过时,根据伯努利效应,柔性透镜向固定透镜移动,自柔性透镜上方垂直照射宽波长光波,可根据反射波的波长测量风速大小。本发明依据伯努利效应及光学效应实现了非侵入式测量,无需引线,同时也降低了传感器的功率。
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成果介绍
科技计划:
成果形式:
新技术
合作方式:
技术开发
参与活动:
专利情况:
未申请专利
成果简介
综合介绍
本发明公开了基于双层透镜结构的风速传感器,涉及MEMS器件,属于测量测试的技术领域。该风速传感器为柔性透镜和硅基上的固定透镜组成的双层透镜结构,柔性透镜与硅基上固定透镜之间留有足够空气腔,当有风流过时,根据伯努利效应,柔性透镜向固定透镜移动,自柔性透镜上方垂直照射宽波长光波,可根据反射波的波长测量风速大小。本发明依据伯努利效应及光学效应实现了非侵入式测量,无需引线,同时也降低了传感器的功率。
创新要点
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