科技计划：
成果形式：新技术、新产品
合作方式：技术转让、技术开发
参与活动：
专利情况：
未申请专利
成果简介
综合介绍
在国家自然科学基金、江苏省自然科学基金的多年持续资助下，开展了硅、锗等半导体材料的电火花多线切割研究，提出了往复渐进式自适应进给控制方法，在轨迹重叠反向插补、多电极运丝机构设计、模糊自适应控制、多电极丝同步均衡放电控制等方面取得了技术突破，开发了专用伺服控制系统，组建了高性能电火花线切割运动控制实验平台，并成功研制了一台国内首创的并行放电多电极电火花线切割机床，取得了加工效率随电极丝数量增加而倍增的效果。
创新要点
技术指标
电极丝间距≤600μm，并行电极丝数量≥3，总厚度偏差≤50μm。
其他说明
用于太阳能或集成电路制造的硅锭等半导体材料的批量切割，具有切损小、成本低、效率高、翘曲小、绿色环保等优点，市场需求巨大。由于半导体材料切割成本占到太阳能电池板总的制造成本的2/3之多，因此经济效益十分显著。
完成人信息
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联系人信息
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黄磊与江苏省生产力促进中心创新平台管理与服务处对接成功
电话：025-85485967 QQ群：1035941228