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紫外纳米压印技术制备有机聚合物光波导放大器的方法

成果编号:26055
价格:面议
完成单位:吉林大学
单位类别:985系统院所、211系统院所
完成时间:2018年
成熟程度:试生产阶段
服务产业领域: 电子信息
发布人:wyao 离线
本发明的方法适合于大批量生产可实际应用的EDWA器件。用于光波导集成芯片的损耗补偿和光波导集成器件的功能集成,主要应用领域为PIC,PIC是一种光学芯片、电子芯片以及微流控芯片集成型新技术,随着芯片集成度增加,损耗将成为制约芯片发展的重要因素,光波导放大器解决器件的损耗问题,对集成芯片的发展至关重要。
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成果介绍

科技计划:
成果形式:新技术、新产品
合作方式:技术转让、技术开发、技术入股
参与活动:
专利情况: 未申请专利
成果简介
综合介绍
本发明的方法适合于大批量生产可实际应用的EDWA器件。用于光波导集成芯片的损耗补偿和光波导集成器件的功能集成,主要应用领域为PIC,PIC是一种光学芯片、电子芯片以及微流控芯片集成型新技术,随着芯片集成度增加,损耗将成为制约芯片发展的重要因素,光波导放大器解决器件的损耗问题,对集成芯片的发展至关重要。
创新要点
本发明采用一种紫外固化的有机聚合物为光波导包层及衬底,采用不同 的掺铒有机聚合物为光波导芯层,制备带有柔性的全聚合物光波导放大器的 方法。 与现有技术相比,本发明所述方法不需要再使用昂贵的厚膜生长和相应 的离子注入设备,同时避开高温生长材料的困难,不需要光刻、显影、掩 模、RIE刻蚀、ICP刻蚀等传统工艺,上下包层材料不需要费时的热固化及 降温,只需要短暂的光固化即可,整个器件制备过程简单,工艺精度高,在 较低的温度范围内(室温~芯层固化温度)制作EDWA器件。
技术指标
其他说明
完成人信息
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