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一种超高真空样品输运系统

成果编号:21382
价格:面议
完成单位:南京大学
单位类别:985系统院所、211系统院所
完成时间:2016年
成熟程度:试生产阶段
服务产业领域: 电子信息
发布人:谢自力 离线
本发明公开了超高真空样品输运系统, 包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空样品室, 串联的超高真空样品室之间设有闸板阀片, 超高真空样品室铺设轨道: 且所述的超高真空样品输运小车主要由2 个超高真空样品存储台, 超高真空样品存储台顶端均设有固定在样品存储台的永磁铁,设有隔磁金属板隔离在2 个超高真空样品存储台之间,超高真空样品输运小车下部设有4-6 个独特的小车导向轮,且小车导向轮在所述轨道上运行, 串联的超高真空样品室外表面设有驱动磁铁。
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成果介绍

科技计划:
成果形式:新技术
合作方式:技术转让
参与活动: 驻苏高校院所苏北五市产学研合作对接活动 第七届中国江苏产学研合作大会
专利情况: 正在申请 ,其中:发明专利 0
已授权专利,其中:发明专利 0
成果简介
综合介绍
本发明公开了超高真空样品输运系统, 包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空样品室, 串联的超高真空样品室之间设有闸板阀片, 超高真空样品室铺设轨道: 且所述的超高真空样品输运小车主要由2 个超高真空样品存储台, 超高真空样品存储台顶端均设有固定在样品存储台的永磁铁,设有隔磁金属板隔离在2 个超高真空样品存储台之间,超高真空样品输运小车下部设有4-6 个独特的小车导向轮,且小车导向轮在所述轨道上运行, 串联的超高真空样品室外表面设有驱动磁铁。
创新要点
实现在超高真空传送系统内同时完成16 块样品的输运。
技术指标
本成果来自江苏省光电信息功能材料重点实验室
其他说明
完成人信息
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