科技计划:
成果形式:新装备
合作方式:技术开发、技术咨询、技术服务
参与活动:
专利情况:
正在申请 ,其中:发明专利 0 项
已授权专利,其中:发明专利 0 项
成果简介
综合介绍
纳米操作机是实现纳米电子器件制造、纳米尺度测量、纳米材料表征等纳米制造过程必不可少的高端仪器装备,目前美国、德国、加拿大、日本等少数国家掌握其核心技术。在国际上首次研究出可以通过SEM交换室安装的新型的三自由度跨尺度闭环纳米操作机,首次提出在纳米尺度基于SEM视觉反馈的接触检测深度信息获取方法,解决了纳米操作二维手动操作且效率低的国际学术难题,实现了纳米尺度的三维自动化操作及纳米材料特性自动化原位测量。纳米操作机实现了纳米器件的自动操作与装配,为纳米传感器等纳米电子器件制造提供新的方法和装备,实现中国纳米产品工业化及批量化应用,提升我国在纳米制造领域的竞争力。
创新要点
解决了纳米操作二维手动操作且效率低的国际学术难题,实现了纳米尺度的三维自动化操作及纳米材料特性自动化原位测量。
技术指标
主要技术指标:整体尺寸10*8*5mm3,行程10*10*10mm,分辨率0.5nm,重复定位精度5nm。
其他说明
PCT国际专利:Yu Sun*, Changhai Ru, Yong Zhang. “Manipulator carrier for electron microscopes”. 国际申请号:PCT/CA2010/000521,国际出版号:WO2011/123923。
应用范围 纳米制造,纳米操作,纳米材料特性测量,纳米电子器件制造。
完成人信息
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联系人信息
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