科技计划：
成果形式：新技术
合作方式：技术转让、技术开发、技术咨询
参与活动：
专利情况：
正在申请 ,其中:发明专利 0 项
已授权专利,其中:发明专利 1 项
专利号:
ZL201010296976.X
成果简介
综合介绍
亚纳米激光工业检测与计量系统是利用偏振激光干涉测量原理，实现对微小位移和振动的高精度非接触式测量，系统的测量分辨率可达0.1nm，振幅测量重复精度3～5nm，还可用于长度、速度、加速度等物理参数的测量。
创新要点
该系统具有精度高、测量范围大、检测时间短、非接触式等优点，测量效率更高、不损伤测量表面、不易受被测对象表面状态影响。
技术指标
其主要技术指标如下：
（1）分辨率：优于10pm（5～500Hz）；
（2）动态范围：优于150dB（5～500Hz）；
（3）频率范围：5～1000Hz（可扩展）；
（4）测量维数：x-y二维；
（5）系统预热：30分钟；
（6）工作温度：10～40℃（工作时温度变化小于1℃）；
（7）体积：700×700×1200（mm3），（可缩小Φ300×1200）；
（8）其他：光学主体密封。
其他说明
应用范围 精密、超精密加工领域。
完成人信息
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