科技计划：
成果形式：新技术、新工艺
合作方式：技术转让、技术开发
参与活动：
专利情况：
未申请专利
成果简介
综合介绍
该项目引入高压脉冲辉光放电技术，将真空阴极弧和中频磁控溅射等多种镀膜技术相结合。
创新要点
类金刚石碳（DLC）膜是一种光滑致密、高硬度、高电阻率、高导热率、良好的红外透过性、高化学稳定性、低摩擦系数高耐磨性的新型超硬薄膜。
技术指标
可研究开发单层及多层功能膜，如硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、碳膜、铁磁膜和磁性薄膜等新型薄膜材料。
其他说明
TiN、TiC、TiCN、TiAlN等硬质薄膜已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用。
完成人信息
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附件
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