科技计划：
成果形式：
合作方式：技术服务
参与活动：
专利情况：
未申请专利
成果简介
综合介绍
本项目研制的高温扩散/氧化系统用于MEMS器件中扩散、氧化、合金及退火工艺，同时适用于其他材料的温度处理工艺。该设备可根据工艺需求，实现p型掺杂、n型掺杂、氢氧合成氧化、以及柔性温度曲线退火工艺，具有操作简便、安全性高、产能大、产品一致性好、自动化程度高、能耗低、排废少等优点，适合于晶硅太阳电池、MEMES器件、电力电子元器件、半导体器件的制造工艺过程。
创新要点
技术指标
主要技术指标：1、基片尺寸：6〃圆片、8〃圆片2、产量：200片/批-1000片/批3、恒温区：600mm-1300mm；4、控温范围：400℃-1300℃；5、温度控制精度：±0.5℃（800℃-1300℃），±1℃（400℃-800℃）6、工艺：p型掺杂、n型掺杂、HO合成氧化、退火
其他说明
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黄磊与江苏省生产力促进中心创新平台管理与服务处对接成功
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