高温MOCVD设备

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黄磊与江苏省生产力促进中心创新平台管理与服务处对接成功
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赵金星与江苏省生产力促进中心企业咨询与知识产权服务中心对接成功

王庆富与江苏省生产力促进中心高层次人才与外国专家服务处对接成功
高文通与江苏省生产力促进中心高层次人才与外国专家服务处对接成功
高文通与江苏省生产力促进中心企业咨询与知识产权服务中心对接成功

成果编号：19061

价格：面议

完成单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所

单位类别：中国农科院系统院所

完成时间：2017年

成熟程度：试生产阶段

服务产业领域：电子信息

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发布人：魏唯离线

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面向高Al组分AlGaN材料与器件的发展需求，四十八所研发出了国内首台高温型MOCVD设备，适用于紫外光电器件、GaN射频/电子功率器件的科研与生产。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：

合作方式：技术开发

参与活动：

专利情况：未申请专利

成果简介

综合介绍

面向高Al组分AlGaN材料与器件的发展需求，四十八所研发出了国内首台高温型MOCVD设备，适用于紫外光电器件、GaN射频/电子功率器件的科研与生产。

创新要点

技术指标

（1）单批产能：19×2 ″、6×3 ″、4×4″ ；（2）最高温度：1500℃ ；（3）控温精度：±1℃ ；（4）漏气率：≤1×10-7Pa·L/s ；（5）膜厚均匀性：＜3% 。

其他说明

完成人信息

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