科技计划:
成果形式:
合作方式:技术服务
参与活动:
专利情况:
未申请专利
成果简介
综合介绍
激光消融设备主要应用于高效晶硅太阳电池背钝化层介质膜( Al2O3/SiNx)局部开孔,是制备高效晶硅PERC电池的关键工艺设备。该设备已成功应用于单晶PERC电池的生产,量产电池平均转换效率超过21.0%。
创新要点
技术指标
(1)适用硅片尺寸:156 × 156mm2 ± 0.75mm ;(2)适用硅片厚度:120~220μm;(3)激光器波长:532nm;(4)激光器脉宽:ns;(5)产能 :≥3600pcs/h;(6)碎片率:≤0.05%;(7)开槽光斑直径:35~50μm。
其他说明
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