科技计划:
成果形式:
合作方式:技术开发
参与活动:
专利情况:
未申请专利
成果简介
综合介绍
多功能激光自混合干涉仪、光纤MEMS压力传感器和便携式光纤辐射测温计是基于激光测量技术的新一代测量仪表和传感器,可广泛应用于科学研究和工业生产等领域,常用于位移、振动、速度、压力和温度等物理量的测量,对发展我国的科技和新兴产业具有重大意义。本项目的创新程度和高技术水平来源于6项国家基金项目和4项江苏省科技厅项目的支持,已获多项省科技奖以及十余项国家发明专利。该成果已经在一些国家重大研究计划项目、国防军工和航空航天计量测试工程项目中得到推广和应用。该成果获得2015年江苏省科学技术奖二等奖。
创新要点
技术指标
通用式光纤MEMS压力传感器性能指标:测量范围为 0~3MPa,满量程误差 0.26%,线性度1.1%,灵敏度是3.50mm/MPa(定义为单位压力下的腔长变化量)。贴片式光纤MEMS微压传感器性能指标:测量范围:-0.01-0.1MPa,线性度::0.0119%,灵敏度7.698μm/Mpa(定义为单位压力下的腔长变化量)。
其他说明
完成人信息
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