光纤MEMS压力传感器

成果编号：10227

价格：面议

完成单位：南京师范大学

单位类别：211系统院所

完成时间：2013年

成熟程度：研制阶段

服务产业领域：电子信息

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发布人：王鸣离线

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光纤MEMS压力传感器结合MEMS技术设计，直接采用光纤和光纤法兰盘制作传感器。硅膜既作为压力敏感膜，又与光纤端面形成F-P腔。制成的传感器具备体积小、成本低、灵敏度高和易于批量生产等优点。传感器采用相位解调法，提高了压力测量的灵敏度和精度，可用于在线测量。光纤MEMS压力传感器系统经江苏省计量科学研究院的第三方检测和省级鉴定及用户试用，技术指标稳定可靠。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新技术、新产品

合作方式：技术开发、技术入股

参与活动：

专利情况：正在申请 ,其中:发明专利 4 项
已授权专利,其中:发明专利 7 项
专利号:
ZL200910028419.7,ZL2007100220040.2,ZL200810156587.X

成果简介

综合介绍

创新要点

采用MEMS技术制作光纤法布里－珀罗腔，建立了传感器的光干涉模型，用MEMS专用软件模拟分析了传感器的力学性能，获得优化的传感器参数，分析了硅膜厚度和FP腔长度对光干涉信号和传感器性能的影响。新型结构将敏感膜的形变量与腔长的变化量相分离，能够同时满足线性测量范围以及光学传感的不同要求。

技术指标

通用式光纤MEMS压力传感器性能指标:测量范围为 0～3MPa，满量程误差 0.26％，线性度1.1％，灵敏度是3.50？m/MPa（定义为单位压力下的腔长变化量）。贴片式光纤MEMS微压传感器性能指标：测量范围：-0.01-0.1MPa，线性度:：0.0119%，灵敏度7.698μm/Mpa（定义为单位压力下的腔长变化量）。

其他说明

完成人信息

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