科技计划:
成果形式:新技术
合作方式:技术转让、技术咨询、技术服务、技术入股
参与活动:
专利情况:
未申请专利
成果简介
综合介绍
高灵敏度磁传感器集磁功能薄膜材料技术、纳米技术与半导体集成技术于一身。由于其对磁场、温度、电压电流、应力应变、压力等的变化敏感,可用于非接触式位置测量、加速度测量、角度测量、速度测量、电流测量、应力应变测量、压力测量以及生物芯片等。其初级产品为高灵敏度磁传感器芯片,目标产品为各类高灵敏度车用传感器、电子罗盘、磁编码器、磁栅尺、电流检测、接近开关、无损检测及各种弱磁检测器件等。广泛应用于工业、医疗、国防等各个领域。
创新要点
具有功耗小、可靠性高、体积小、能工作于恶劣环境等现有传统传感器所不能相比的优点,而且在制造成本上,高灵敏度磁传感器并不高于其它普通传感器,甚至大大低于某些传感器。
技术指标
本技术开发的磁传感器工作温度范围宽(-40~+200?C)、磁阻效应高(5~50%)、信号温度系数低(-0.1%/K)、有效敏感单元尺寸小(<0.1mm2),具有功耗小、可靠性高、体积小、能工作于恶劣环境等现有传统传感器所不能相比的优点。
其他说明
完成人信息
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