科技计划：
成果形式：新材料
合作方式：技术转让、技术开发、技术入股
参与活动：
专利情况：
未申请专利
成果简介
综合介绍
综合介绍：
随着微电子和微机电(MEMS)等领域的发展，对微齿轮、微弹簧等MEMS器件需求越来越多，因而从材料特性到制备工艺对新材料都提出了越来越高的要求，已有的研究表明, 利用常规材料来成形微小零件时, 材料表现出一系列明显的尺寸效应，从材料性能到制备工艺都限制了MEMS器件与技术的发展与应用。研究开发了一种适用于制造MEMS器件要求的微小精密零件的新材料及其相关加工工艺技术，从材料性能到工艺性能与常规材料相比都具有明显的优势。
创新要点
技术指标
技术指标：
适用于MEMS器件制造的材料技术；
MEMS器件制造工艺技术，样品尺寸可达微、纳米量级，表面精度可达原子尺度。
其他说明
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王庆富与江苏省生产力促进中心高层次人才与外国专家服务处对接成功
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