聚酰亚胺光刻胶

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成果编号：40902

价格：面议

完成单位：中国科学院兰州化学物理研究所

单位类别：中国科学院系统院所

完成时间：未填写

成熟程度：试生产阶段

服务产业领域：新材料

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发布人：江苏省生产力促进中心产业规划与军民协同创新服务处离线

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研制的聚酰亚胺光刻胶光刻后光刻线尺寸与掩膜线尺寸相切合，且边界清晰，光刻过程没有发生热聚合，工艺条件与光敏聚酰亚胺相对匹配。光刻工艺还待进一步优化选择，包括前后烘烤时间和温度，曝光光强和时间等条件显影液极性还需要调节，还需要进一步研制与光敏聚酰亚胺完全匹配的显影体系。光刻后不留底膜，薄膜厚度小于100 um，光刻后上下口宽度差不超过线宽的1/5。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新材料

合作方式：技术开发

参与活动：

专利情况：未申请专利

成果简介

综合介绍

创新要点

技术指标

其他说明

完成人信息

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