针对含氢碳薄膜中由于单电子氢的链终结作用难以形成类富勒烯笼状结构
的难题,提出了构筑笼状结构的离子注入弛豫模型,通过沉积脉冲能量周期变化
对薄膜结构剪裁,突破了超低摩擦碳薄膜的类富勒烯笼状结构可控制备技术。率
先制备了超弹性( (> 85%)、超低摩擦(摩擦系数 180
的难题,发明了定向沉积的箍缩磁场溅射等技术,提高了低温下的离化率和沉积
速率;创制了栅极辅助柱状电弧离子镀膜装置,构建了双金属纳米多层梯度结构,
在轴承钢表面实现高结合力( 60N HF1 级),在国际上率先 突破了轴承钢表面
低温沉积( (<150 ℃℃)高结合力低摩擦碳薄膜制备技术。