超快激光加工精密技术及应用

成果编号：40364

价格：面议

完成单位：吉林大学

单位类别：211系统院所

完成时间：2022年

成熟程度：试生产阶段

服务产业领域：装备制造

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发布人：江苏省生产力促进中心先进制造与节能环保处在线

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成果简介超快激光加工系统配置高重频飞秒激光放大器及高精度大行程气浮导轨直线电机位移平台，实现亚微米级空间分辨率的加工精度；同时配置空间光调制器(SLM) 进行激光焦斑整形，可将飞秒激光聚焦于透明材料内部直写加工。该系统适合对于多种结构器件进行减材制造或折射率改性制造，适用于高等院校及科研院所进行光波导直写、光纤光栅刻写、硬质材料精密切割与钻孔、材料表面微纳加工等方向研究。吉林大学超快激光精密加工团队获省部级科学技术一等奖3项，国家自然科学二等奖1项(2020年)。研究团队依托集成光电子学国家重点实验室，已完成《超快激光与材料相互作用多尺度理论与观测》、《面向跨尺度飞秒激光加工的微区形态性能原位监测与分析系统研制》、《飞秒激光高速、大视场微纳制造的新方法及其机理研究》等科技部或国家自然基金委重大研发项目。研究团队拥有近20年飞秒激光加工技术累积，对软材料 SU8 光刻胶，硬质材料包括玻璃、蓝宝石、石英、硅、金刚石、硫化锌等有雄厚的加工技术积淀。科研团队电子科学与工程学院李乾坤教授科研团队应用领域光波导直写、量子光学、光纤光栅刻写、硬质材料精密切割与钻孔等领域。知识产权情况已申请发明专利6项，获批2项。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新技术、新装备

合作方式：技术转让

参与活动：

专利情况：正在申请 ,其中:发明专利 4 项
已授权专利,其中:发明专利 2 项

成果简介

综合介绍

创新要点

技术指标

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