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金属氧化物半导体纳米阵列材料的可13控制备及气敏传感器应用

成果编号:39985
价格:面议
完成单位:浙江大学
单位类别:985系统院所、211系统院所
完成时间:2023年
成熟程度:其他
服务产业领域: 其他
发布人:江苏省生产力促进中心苏南中心综合与政策服务处 离线
气敏传感器是用来检测气体的成份和含量的传感器,一般认为是一种 将某种气体体积分数转化成对应电信号的转换器。国外气体传感器发展较快,一 方面是由于人们安全意识增强,对环境安全性和生活舒适性要求提高,另一方面 是由于传感器市场增长受到政府安全法规的推动。我国气敏元件传感器及其应用 技术有了较快进展,但与国外先进水平仍有较大的差距,其主要是气敏材料制造、 产业化及应用等方面的差距。目前,气体传感器的发展趋势集中表现在提高灵敏 度和工作性能、降低功耗和成本、缩小尺寸和增强可靠性等,制备出一种性能优 良的气敏材料是提升气敏传感器性能的必由之路。气敏材料纳米阵列化是十分理 想的提高气体敏感性能的方法,对此结构材料的研究,可以从根本上改善提高气 体传感器的灵敏度、选择性和稳定性。根据国家对气敏传感器的重大需求,针对 长期制约节能气敏传感器工作温度较高、制备工艺复杂等问题,开发了适合无密 集型劳工、大批量产业化的拥有自主知识产权的多项关键技术
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成果介绍

科技计划:
成果形式:新技术
合作方式:技术转让、其他
参与活动:
专利情况: 正在申请 ,其中:发明专利 3
已授权专利,其中:发明专利 0
成果简介
综合介绍
气敏传感器是用来检测气体的成份和含量的传感器,一般认为是一种 将某种气体体积分数转化成对应电信号的转换器。国外气体传感器发展较快,一 方面是由于人们安全意识增强,对环境安全性和生活舒适性要求提高,另一方面 是由于传感器市场增长受到政府安全法规的推动。我国气敏元件传感器及其应用 技术有了较快进展,但与国外先进水平仍有较大的差距,其主要是气敏材料制造、 产业化及应用等方面的差距。目前,气体传感器的发展趋势集中表现在提高灵敏 度和工作性能、降低功耗和成本、缩小尺寸和增强可靠性等,制备出一种性能优 良的气敏材料是提升气敏传感器性能的必由之路。气敏材料纳米阵列化是十分理 想的提高气体敏感性能的方法,对此结构材料的研究,可以从根本上改善提高气 体传感器的灵敏度、选择性和稳定性。根据国家对气敏传感器的重大需求,针对 长期制约节能气敏传感器工作温度较高、制备工艺复杂等问题,开发了适合无密 集型劳工、大批量产业化的拥有自主知识产权的多项关键技术
创新要点
主要成果为:利 用廉价、简单、重复性好、可批量生产的水热法制备出了多种新型金属氧化物半 导体纳米阵列材料,包括菱形 Co3O4纳米棒阵列、菱形 ZnO 纳米阵列材料、针 状Co3O4纳米线材料等,探讨了其生长机理,实现了可控制备;经热处理后可形 成的多孔、大比表面积、高结晶质量的气敏传感材料。目前该种纳米阵列材料的 气敏传感机理、性能变化影响因素及气敏传感器器件制备工艺研究在国内外领域 均为空白,具有良好的科学研究价值和市场应用前景,并具有重大的经济效益和 社会效益。
技术指标
已申请相关国家发明专利3项,发表论文6篇,掌握多种新型纳米阵 列材料的可控制备技术,正处探讨产业化的可能性及可行性阶段。
其他说明
完成人信息
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