科技计划：
省部级：
成果形式：新产品
合作方式：技术开发
参与活动：
第二届江苏产学研合作对接大会
2023年高校院所服务苏北五市产学研合作对接活动
专利情况：
未申请专利
成果简介
综合介绍
该运动台采用苏科思自主知识产权的控制软件开发平台及控制板卡，集成了主动减震及主动内部驱动力消除模块，及自动调平功能。系统性模块化设计思维，能够实现高精度，高速，多自由度运动。
此外，还能为不同半导体设备的特殊应用进行定制化开发，能够让运动台与半导体设备完美结合，使得设备的性能发挥到最大。
创新要点
基于几十年与国际半导体设备厂的联合开发经验，苏科思为半导体前道量测、激光切割、先进封装、光刻、固晶等设备厂商提供了一系列的解决方案如：精密晶圆运动台、复杂设备控制系统、控制软件以及人机交互软件。
技术指标
比如X、Y和Rz三自由度气浮运动平台UPSS, 以较高的性价比实现高达100nm 的绝对定位精度,50nm的重复定位精度和1000mm/s的速度 ，及1g的加速度。
其他说明
完成人信息
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黄磊与江苏省生产力促进中心创新平台管理与服务处对接成功
电话：025-85485967 QQ群：1035941228