科技计划:
省部级:江苏省自然科学(青年)基金
成果形式:新技术、新材料
合作方式:技术转让、技术开发、技术咨询、技术服务
参与活动:
2023年高校院所走进镇江产学研合作对接活动
第二届江苏产学研合作对接大会
2023年高校院所服务苏北五市产学研合作对接活动
专利情况:
未申请专利
成果简介
综合介绍
采用了PLD制备薄膜技术,通过控制氧压、温度和底电极厚度获得周期性条带畴;其中铁电层是铁酸铋BFO;表征方法利用的是矢量PFM、CAFM;铁电薄膜中条带畴结构以及畴壁电流的表征与分析,为高密度铁电随机存取存储器件制备、检测提供方案。
创新要点
与现有技术相比,本发明的一种铁电薄膜的周期性条带畴结构及其表征方法。使用的是铁酸铋材料,与传统的含铅铁电材料相比,这种材料绿色环保、极化值大、铁电性良好;使用的技术是矢量压电力显微镜PFM、导电原子力显微镜CAFM,技术先进,属于科技前沿;铁电薄膜中条带畴结构以及畴壁电流的表征与分析,有望为解决目前市场上高密度铁电随机存取存储器件制备、检测的技术瓶颈提供方案。
技术指标
(1)铁电薄膜厚度60纳米;
(2)周期性条带畴间距0.2微米;
(3)精细的矢量压电力显微镜技术能够确定畴的三维结构;
(4)明显的畴壁电流(20 pA)。
其他说明
完成人信息
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