基于 MEMS 技术的传感器及数据记录仪

成果、专家、团队、院校、需求、企业在线对接

方成刚与江苏省生产力促进中心高层次人才与外国专家服务处对接成功
赵金星与江苏省生产力促进中心企业咨询与知识产权服务中心对接成功
王庆富与江苏省生产力促进中心高层次人才与外国专家服务处对接成功

高文通与江苏省生产力促进中心高层次人才与外国专家服务处对接成功
高文通与江苏省生产力促进中心企业咨询与知识产权服务中心对接成功
纪秀林与江苏省生产力促进中心高层次人才与外国专家服务处对接成功

成果介绍

科技计划：

成果形式：其他

合作方式：其他

参与活动：

专利情况：未申请专利

成果简介

综合介绍

开发了高温、高压压力传感器、高频、微型、力、加速度等特殊需求传感器

创新要点

1、XJA1 高 g 值加速度传感器：采用的 MEMS 压阻式硅芯片拥有自主的知识产权，其独特的内部结构，为传感器提供了可靠的过载保护、适当的空气阻尼及良好的密封性。主要用于航空航天、兵器、船舶、轨道交通装备等对冲击、碰撞、爆破产生的加速度测量。 2、XJG2 高温压力传感器：采用 MEMS 技术和 SOI 技术，集成平膜压力传感器芯体，并采用先进的梁膜结构设计。 3、XJG4 微型压力传感器：采用了微型化设计的微机械加工工艺制成集成压阻力敏元件，进行精致巧妙的微型封装。 4、XJG8 高频响压力传感器：微机械加工技术使得集成硅膜片有效尺寸小，因而固有频率高；利用硅优良的弹性力学特性，加之低的电桥内阻抗。 5、XJG7 高过载压力传感器：能够承受并测量 2GPa 动态瞬间高压力 6、XJE2 高温高压充油压力芯体：采用高精度、高稳定性微压力敏芯片或SOI 压力力敏芯片作为弹性敏感单元 7、XJB2 高温压力变送器： 8、XJB6 智能数字压力变送器：

技术指标

1、XJA1 高 g 值加速度传感器：过载保护：100,000g；响应频率：≥100kHz 供电：+5VDC；满量程输出：60mV±20mV；工作温度：-40℃～125℃；相对湿度：0%～85% ；绝缘电阻：100MΩ(50VDC)；重量：≤5g 2、XJG2 高温压力传感器：耐瞬时高温冲击:2000℃；测量介质：与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体；量程：0～500KPa……150MPa；供电：1.5mA 或 5mA 或 9V；零位输出：≤±2mV。 3、XJG4 微型压力传感器 4、XJG8 高频响压力传感器 5、XJG7 高过载压力传感器 6、XJE2 高温高压充油压力芯体 7、XJB2 高温压力变送器 8.XJB6 智能数字压力变送器

其他说明

完成人信息

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