需求简要说明及主要技术参数 |
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进行凹面金属光栅仿真模拟,优化设计180nm到450nm波段的分光光栅形态结构,通过紫外激光干涉技术制备凹面微结构光栅,并实现批量高性能凹面金属光栅的制备。
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