需求简要说明及主要技术参数 |
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项目名称:多线切割蓝宝石片的面型分选和自动化
蓝宝石衬底的加工,首要的就是将蓝宝石晶棒切割成片,切割后的品质直接影响蓝宝石衬底产品的良率和数据。目前蓝宝石切割后一般控制在300片/刀,存在晶片的一致性和控制性都非常具有随机性。在大生产过程中就需要进行面型分选及自动化生产。主要反映切割后的数据指标包括厚度、TV5、warp、bow。企业未来发展过程中还是需要进行前瞻性研究切片后的各项指标和成品之间的相对关系,便于在生产前期进行预判或分选,从而避免不必要的良率损失成本。从而真正提高吉星的智能制造水平。
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