需求简要说明及主要技术参数 |
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在非球面光学镜面的细磨阶段,由于面型误差较大,激光干涉仪等高精密的检测设备无法使用,三坐标测量机等的测量误差又较大,其面型检测较为困难。 主要技术要求: 被测面型误差范置1-10波长,检测精度0.1-0.3波长.
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