需求简要说明及主要技术参数 |
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针对大尺寸晶圆,研究分析工具参数和特性、进给速度、晶圆旋转速度、工具正压力、切削液流量等因素对晶圆面型精度和表面完整性的影响规律,建立基于工程化试验的多参数加工效果模型,指导不同条件下的工艺参数选择;研究减薄划片工艺参数、加工质量、切削力及刀片负载或扭矩的映射关系,基于检测系统反馈数据在不超过刀具服役或扭矩极限条件下提出工艺参数调整策略。
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