需求简要说明及主要技术参数 |
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拟开发多晶硅工业和三氯氢硅工业副产物副产物-四氯化硅综合利用关键技术,通过把以上副产物进行高温水解反应,制备高附加值的高性能纳米气相二氧化硅产品,彻底解决多晶硅、三氯氢硅工业发展的瓶颈制约问题。同时开发气相二氧化硅粒子聚集和脱酸新工艺,获得高品质的气相二氧化硅产品;项目实现在多晶硅、三氯氢硅和气相二氧化硅工业之间副产物循环利用,达到节能减排的目的。
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