需求简要说明及主要技术参数 |
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根据中国光伏行业协会统计,2020 年新建量产产线仍以PERC 电池产线为主。随着PERC 电池片新产能持续释放,PERC电池片市场占比又2019年的65%进一步提升至86.4%。目前单晶PERC技术仍然是光伏行业的主流技术,并且在将来很长一段时间内会占据主流地位。但是PERC电池效率的快速成长期已经过去,单晶PERC效率的进一步提升及成本的进一步下降越来越困难,降低PERC电池生产成本及提升电池效率是目前行业内各企业及高等院校研究的重点和难点。具体如下:
1)解决激光掺杂后续丝网印刷的精准识别问题
针对双面单晶硅电池激光掺杂选择性发射极技术,探究扩散掺杂源与激光相互作用的规律,解决如何选择低压扩散工艺、激光类型、功率参数的问题,采用精准印刷方式实现栅线下连续低方阻、受光处均匀高方阻的选择性发射极结构,降低发射极俄歇复合,达到解决激光掺杂后续丝网印刷的精准识别问题的目的。
2)解决电池碱抛技术与SE技术的兼容性关键问题
针对双面单晶硅电池碱抛和激光掺杂复合工艺技术,通过碱抛技术,背面较率降低表面复合,提高少子寿命,开发的新型超薄氧化硅掩膜碱抛技术,解决常规碱抛工艺对正面激光掺杂选择性发射极进行破坏,解决碱抛技术与SE技术的兼容性关键问题。
3)基于双面单晶硅电池新型三层钝化膜结构原位背面钝化研究
建立在三层绝缘钝化层下的单晶硅界面特性和载流子输运模型,研究绝缘层对三层钝化膜结构背面钝化影响机制,提出背面叠层钝化膜结构优化设计方法和原位背面钝化工艺,突破常规Al2O3/SiNx背面两层钝化膜结构和多次钝化膜沉积工序,首创采用直接法高频PECVD技术原位制备新型a-SiNOx:H/AlOx:H/a-SiNx:H三层钝化体系,研究原位沉积新型三层钝化膜结构及相关工艺参数对正面效率、背面反射率的影响,解决双面电池正面效率与双面率平衡问题,提高电池转化效率。
4)解决双面PERC电池背面PID的行业关键共性技术问题
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