科技计划：
成果形式：新技术、新工艺、新产品、新装备
合作方式：技术开发、技术咨询、技术服务
参与活动：
专利情况：
未申请专利
成果简介
综合介绍
产品就是真空领域高端的薄膜生长系统，分子束外延生长系统
创新要点
专门针对实验室对小样品的生长需求，设计小型紧凑的生长腔室、样品台，同时降低购买价格与运行成本。
紧凑的生长腔室 （内径 ~ 300 mm）：内表面积小，更容易实现超高真空，整体占地面积不到1㎡。
电子束加热的小样品台：定向加热，降低了传统灯丝热辐射加热的耗散，保证了较低的环境温度，对真空有利。同时加热速率很快。
30多个标准法兰接口：可扩展性好。
小样品托（18 *12 mm）：刚好适合10 mm左右样品，同时兼容ARPES，STM等标准样品托。
技术指标
专门针对实验室对小样品的生长需求，设计小型紧凑的生长腔室、样品台，同时降低购买价格与运行成本。
紧凑的生长腔室 （内径 ~ 300 mm）：内表面积小，更容易实现超高真空，整体占地面积不到1㎡。
电子束加热的小样品台：定向加热，降低了传统灯丝热辐射加热的耗散，保证了较低的环境温度，对真空有利。同时加热速率很快。
30多个标准法兰接口：可扩展性好。
小样品托（18 *12 mm）：刚好适合10 mm左右样品，同时兼容ARPES，STM等标准样品托。
其他说明
完成人信息
姓名：对接成功后可查看
所在部门：对接成功后可查看
职务：对接成功后可查看
职称：对接成功后可查看
手机：对接成功后可查看
E-mail：对接成功后可查看
电话：对接成功后可查看
传真：对接成功后可查看
邮编：对接成功后可查看
通讯地址：对接成功后可查看
联系人信息
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纪秀林与江苏省生产力促进中心高层次人才与外国专家服务处对接成功
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