科技计划:
成果形式:新技术、新工艺、新产品、新装备
合作方式:技术开发、技术咨询、技术服务
参与活动:
专利情况:
未申请专利
成果简介
综合介绍
产品就是真空领域高端的薄膜生长系统,分子束外延生长系统
创新要点
专门针对实验室对小样品的生长需求,设计小型紧凑的生长腔室、样品台,同时降低购买价格与运行成本。
紧凑的生长腔室 (内径 ~ 300 mm):内表面积小,更容易实现超高真空,整体占地面积不到1㎡。
电子束加热的小样品台:定向加热,降低了传统灯丝热辐射加热的耗散,保证了较低的环境温度,对真空有利。同时加热速率很快。
30多个标准法兰接口:可扩展性好。
小样品托(18 *12 mm):刚好适合10 mm左右样品,同时兼容ARPES,STM等标准样品托。
技术指标
专门针对实验室对小样品的生长需求,设计小型紧凑的生长腔室、样品台,同时降低购买价格与运行成本。
紧凑的生长腔室 (内径 ~ 300 mm):内表面积小,更容易实现超高真空,整体占地面积不到1㎡。
电子束加热的小样品台:定向加热,降低了传统灯丝热辐射加热的耗散,保证了较低的环境温度,对真空有利。同时加热速率很快。
30多个标准法兰接口:可扩展性好。
小样品托(18 *12 mm):刚好适合10 mm左右样品,同时兼容ARPES,STM等标准样品托。
其他说明
完成人信息
姓名:对接成功后可查看
所在部门:对接成功后可查看
职务:对接成功后可查看
职称:对接成功后可查看
手机:对接成功后可查看
E-mail:对接成功后可查看
电话:对接成功后可查看
传真:对接成功后可查看
邮编:对接成功后可查看
通讯地址:对接成功后可查看
联系人信息
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