(1) 纳米瓷粉制备技术:针对常规固相反应法合成温度较高,且瓷粉
形貌和粒度难以调控的问题,本项目开发的纳米级陶瓷粉体的微波辅助溶胶-凝胶法技术制备所得纳米级陶瓷粉体具有粒度分布较窄,无明显团聚,表面活性较高等优点,不仅有利于制备出更薄的LTCC 流延膜,而且能够改善陶瓷粉体的烧结特性,从而显著降低器件生产成本,这对于元器件的薄层化、微型化提供关键的技术支持和理论指导。
(2) LTCC 瓷粉的介电性能调控技术:通过研究基体材料成分、多元离子
取代改性和化合物复合掺杂对陶瓷材料相成分、显微组织结构和介电性能的影响规律,实现对陶瓷介电性能的调控。
(3) 高固相含量LTCC 用流延浆料的流变特性调控技术:通过研究溶剂
类型、组成及含量、固相含量及分散剂种类与含量等技术参数对瓷粉流延浆料流变性能的影响规律,构建不同特性的陶瓷浆料的流变模型,协调优化浆料组成,制备出满足流延成型要求的高固含量LTCC 用流延浆料。
(4) 多层共烧过程中生瓷带与电极材料的共烧匹配技术:通过调整粉体性
能、流延浆料成分配比以及采用生瓷带表面辅助加压的方式,控制生瓷带在x-y 平面的烧结收缩率;选择合适的电极浆料;并优化多层共烧工艺参数,实现多层共烧过程中生瓷带与电极材料之间良好的共烧匹配。